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碳化硅粉全套设备

碳化硅粉全套设备

2024-01-11T15:01:22+00:00

第三代半导体材料碳化硅(SiC)研究进展知乎知乎专栏

碳化硅产业链主要包含粉体、单晶材料、外延材料、芯片制备、功率器件、模块封装和应用等环节。 SiC 粉体：将高纯硅粉和高纯碳粉按一定配比混合，于2,000 ℃以上的高温碳化硅外延材料的主要设备，目前这个市场上主要有四家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大； 2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。 3、日本的TEL和Nuflare，其技术碳化硅产业链条核心：外延技术知乎知乎专栏

首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做？

Oct 21, 2020 1碳化硅晶体生长及加工关键设备主要包括: 碳化硅粉料合成设备用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量自主开发系统，实现全自动过程；兼容各种工艺操作流程；操作权限分级，减少误动作；自主研发异地网络远程监控SiC操作系统——安全，可靠，便捷，实现无人值守远程控制碳化硅原料合成炉(100~150kg,电阻式)

碳化硅加工设备

碳化硅加工设备组成：碳化硅加工设备全套配置包括锤式破碎机、斗式提升机、储料仓、震动给料机、微粉磨主机、变频分级机、双联旋风集粉器、脉冲除尘系统、高压风机、空碳化硅价格成本降低，产量提高，参考市场上已有的负压上料机技术特点，同时加以改进和优化，研制出专门针对碳化硅微粉特点的JM5002型真空上料机，相对具有高耐磨、易清碳化硅微粉